Mehrebenenbelichtung von Platinen mit EUV(?)

  • Freunde des gebündelten Lichts, gestern bin ich mit einem Kumpel auf komischem Wege auf dieses Thema gekommen. Er konnte mir leider nichts wirklich konkretes dazu sagen außer, dass er entsprechende Anlagen gesehen hat und was im extrem groben darin passiert. Da dachte ich mir, dass falls er da nichts durcheinander gebracht hat, mir wenn dann einer von euch bissle was zu sagen kann.


    Vom Prinzip her geht es um die Belichtung von Platinen mittels UV-Strahlung. Um jedoch das Ganze im mehreren (getrennten) Ebenen der selben Platine zu machen (wohl bis zu 4) reicht wohl die „normale“ UV-Strahlung nicht aus, weil diese nicht tief genug eindringt. Deshalb wird wohl auf „EUV“ (erweiterter UV-Bereich) zurückgegriffen.

    Die Anlagen hierfür sind wohl recht groß. Um dieses EUV zu erzeugen werden in der Anlage wohl mit entsprechender Präzision Zinktröpfchen erzeugt, welche durch Laserbeschuss die nötige Wellenlänge erzeugen.


    Einen „Dauerlaser“ auf diese Weise zu erzeugen soll wohl nicht oder zumindest nicht so einfach möglich sein. Grund unbekannt, aber wenn ich raten müsste, würde ich mal vermuten, dass der Pumplaser einfach zu stark ist und somit das flüssige Zink verdampft.


    Ich weiß, ist bissle was arg spezielles, würde mich aber freuen, wenn mir jemand dazu sagen kann ob da was dran ist und wenn ja evtl. bissle mehr Details dazu liefern kann.


    Falls nicht ist auch ok, wünsche noch frohes Bruzzeln 😎

  • Ich habe gerade meinem Kumpel ChatGPT zum Thema "Was ist" befragt:


  • Nee. Die belichten damit die Fotoschicht der Wafer zum ätzen.

    Gruß,

    Christian


    „Der größte Feind des Wissens ist nicht Unwissenheit, sondern die Illusion, wissend zu sein.“
    Stephen Hawking

  • ... meinst du evtl. "Ablation" mit extrem starken EUV-Lichtquellen - z.B. mit einem Excimer-Laser?


    Da kann auch mit schon dertigen Platinen, Bauteilen oder beliebigen Oberflächen "Licht-graviert" werden.


    Ich hatte sowas mal für ein spezielles Projekt gemacht - da wurde mit jedem "Schuß" (bzw. Puls-Belichtung durch eine Blende) von der ausgeleuchteten Oberfläche jeweils um 200nm Schichtdicke "kalt" weggedampft ... heir ein paar Bilder von den Ergebnissen:


    step-r.jpg  Uebersicht.JPG


    Uebersicht.JPG  Zoom-3D.JPG

  • meinst du evtl. "Ablation" mit extrem starken EUV-Lichtquellen - z.B. mit einem Excimer-Laser?

    Kann durchaus sein. Ich habe halt leider nur die genannten, spärlichen Informationen zu dem ganzen.

    Mir kam das Ganze halt etwas dubios vor. Zum einen der Punkt, dass sich wohl kein entsprechend „konstanter“ Laser für die entsprechende Wellenlänge bauen lässt.

    Zum anderen, dass mit wohl frei fallenden Zinktropfen eine entsprechende Präzision erreicht werden soll, dass man in diesen Größenordnungen replizierbar und im industriellen Maßstab arbeiten kann.

  • ... naja, das mit den "frei fallenden Zink-Tröpfchen" geht in Richtung Ultrakurzpuls-Laser, der kostant mit Tröpfchen oder kleinen Kügelchen versorgt werden muß ... bei den Excimer-Lasern wird Gas zwischen Elektroden "aufgeladen", bis es blitzt.


    Was evtl. die Unterschiede sind: Pulslänge, Puls-Spitzenleistung, Frequenz.


    Was auch in dier Richtung "Wegwerf-Einzelpulse" geht, wäre der "Z-pinch"-Puls-Generator - dabei wird ein enorm hoher Strom durch eine Kupferspule gejagt, welcher die Spule schlagartig verdampfen läßt ... das Kupfer-Plasma ist aber auch leitfähig, so daß der Strom weiter durch die jetzt aus Plasma bestehende "Spule" fließt umd das Magnetfeld diese "Spule" zusammenzieht bzw. komprimiert, wobei as Magnetfeld bzw. die Energiedichte immer höher wird, bis das kurz vor oder mit Kernfusion in einer Explosion ausartet ... da immer wieder neue Kupfer-Spulen mit Stromaschluß reinzuschießen wäre auch eine Aufgabe :evil:

  • ... naja, das mit den "frei fallenden Zink-Tröpfchen" geht in Richtung Ultrakurzpuls-Laser, der kostant mit Tröpfchen oder kleinen Kügelchen versorgt werden muß ...

    Klingt genau nach dem, wovon mein Kumpel gesprochen hat … Bin ich wieder was schlauer 🙃


    da immer wieder neue Kupfer-Spulen mit Stromaschluß reinzuschießen wäre auch eine Aufgabe :evil:

    Und dürfte wenn man mal doch zu langsam ist in einem sehr ordentlichen Knall enden :hauwech:

  • ... nunja -- wenn man sich schon mit Ultra-Kurzpuls-Lasern oder ähnlichem herumschlägt, dann braucht man aucn ein extrem genaues Timing!

    Für Anwendungen, bei denen eine Cäsium-Atom-Uhr nicht mehr ausreicht, sind sie aktuell an Atomkern-Uhren dran 8o

  • Da mein timing nur so lala ist, ist es wohl ganz gut, dass ich mir sowas weder leisten noch selber bauen kann😅

    Wobei nen Laser dem das Material scheinbar schnuppe ist und ohne Wärmeeintrag in das Restmaterial arbeitet ganz nett wäre. #wein

  • ... die "typischen" Excimer sind so in der Kleiderschrank-Größe und brauchen unendlich viel Gas und Wartung :rolleyes:


    Die haben auch kein EUV, sondern um 10x höher Wellenlängen um 200 bis 300nm.


    Mit 337nm hätte ich noch einen kleinen N2-TAE-Laser, der mal fürs Pumpen von Farbsoff-Lasern entwickelt wurde - 200ps "lange" Pulse mit um 400kW Spitzenleistung ... mit dem wollte ich auch mal sowas, wie in den Bilder vom "kalten" wegdampfen ausprobieren ... wird allerdings nur im "mikroskopischen" Bereich gehen.


    Ansonsten - je kürzer die Wellenlänge und Pulslänge, umso "kälter" ist auch die Ablation 8)

  • ... ja, das war mal teuer :rolleyes:


    Hier in dem Video, die Kiste mit dem Beigen Gehäuse, ist mein N2 TAE-Laser, ein Nitromite LN105 - https://www.youtube.com/watch?v=s7vJ8PJKJVM


    Der andere Kram davor waren seine damit gepumpten "Farbstoff-Laser" für divere Wellenlängen.


    Für die "Mikro-Materialbearbeitung" reicht aber der Nitromite mit 337nm und 400kW Puls-Spitzenleistung schon alleine aus 8)

  • Was mich interessiert: Wie werden die Glaswürfel hergestellt, die ein 3D-Bild enthalten?

    Ich dachte immer, sie werden per Laser-Technik realisiert?


    firefox_2023-06-13_21-17-07.jpg


    Ich sah sie zum ersten Mal vor 20 (?) Jahren auf einem Markt in Leipzig.

    An einer "Bude" stand ein Gerät, das Aufnahmen machte und nach xyz Minuten konnte Du das fertige Produkt abgeholt werden.

  • ... das wird heute üblichereise mit frequenzverdoppelten Faserlasern gemacht (1064nm -> 532nm) ... davor mit ebenso frequenzverdoppelten NdYAG's.


    Ich hab' das mal mit meinem UV-Laser ausprobiert (ist ein frequenzverdreifachter Festkörper-Laser) geht auch ganz gut in den gleichen Glaswürfeln 8)